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マイクロ・ナノプロセス工学（秦研究室）
名古屋大学大学院工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻
集積機械デバイス講座マイクロ・ナノプロセス工学研究グループ
マイクロ・ナノプロセス工学研究グループ WEBサイト
| 日本語サイト（Japanese） | http://mnp.mech.nagoya-u.ac.jp/jp/ |
|---|---|
| 英語サイト（English） | http://mnp.mech.nagoya-u.ac.jp/ |
秦研究室 メンバー
教授 秦 誠一
Prof. Seiichi Hata
Tel 052-789-5223,
Fax 052-789-5032
Email hata@mech.nagoya-u.ac.jp
准教授 櫻井 淳平
Associate Prof. Junpei Sakurai
Tel 052-789-5031,
Fax 052-789-5032
Email jsakurai@mech.nagoya-u.ac.jp
助教 溝尻 瑞枝
Assistant Prof. Mizue Mizoshiri
Tel 052-789-5031,
Fax 052-789-5032
Email mizoshiri@mech.nagoya-u.ac.jp
マイクロ・ナノプロセス工学研究グループ概要
マイクロマシン(MEMS)を創る/産業を創る
- マイクロマシン（MEMS）の研究を通じて，マイクロ・ナノメータ領域ではたらく機械の科学を探求する
- マイクロセンサ，マイクロマシンのアイデアから設計，製作，評価まで一貫した研究と教育
- 情報・産業機器，医療・バイオ分野に関わるマイクロメカトロニクス産業で指導者として活躍できる人材を育てる
主な取り組み・研究の成果
マイクロ加工_結晶異方性エッチング
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マイクロ材料の機械的特性評価
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MEMS医療応用
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MEMSバイオ応用
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MEMSインターフェイス
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MEMS計測
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