研究設備
工作機械
超精密微細加工機 （愛称：プレーナ）
ナガセインテグレックス製
本研究室のエース
超精密加工実験から，各種装置開発，治具製作等さまざまな場面で活躍
超精密5軸加工機 （愛称：ロボナノ）
FANUC製
位置決め分解能0.1nmの超精密加工
超複合5軸立形マシニングセンタ
オークマ製
超複合ターニングセンタ
オークマ製
小型形彫放電加工機
SODIC製
充実した加工条件で超高速細穴加工
超精密5軸加工機（愛称：nachi）
不二越製
0.1ナノメートルオーダの分解能を誇る超精密加工機
主に超精密加工実験に用いる
立形マシニングセンタ（愛称：マシニング）
オークマ製
小さい体ながらも，重切削加工の実験から治具製作に至るまで活躍している
5軸制御立形マシニングセンタ（愛称：5軸，7号館の）
オークマ製
研究室からは飛地の静かな恒温室に鎮座
5軸制御の特長を活かした超精密加工実験に用いる
現在は主軸をオプションタイプに換装中
CNC旋盤 （愛称：ターニング）
オークマ製
加工実験や治具製作などでの活躍が期待される
Y軸とサブスピンドルを搭載しており，複合加工機として使用可能
新三号館（マイクロナノメカトロニクス研究センター）に設置
LS型普通旋盤 （愛称：旋盤）
大隈鉄工所製
本研究室の機械の中では最古参クラスでNC制御でないながらも，
その汎用性の高さから各種加工実験に活躍している
20年以上に渡り，学生の相手をしてきて，学生時代の社本先生も使用したとか
ボール盤（大・小）
工作物に穴を開けたり，ネジの下穴を開けるのに使用
ノコ盤
なんでも切断できる便利な機械
かなり大雑把な機械
工具研削盤
工具を研削するのに使用
ダイヤモンド砥石を装備している
グラインダー
少し削りたいときに便利
ただし砥石の選択に注意
巻き込まれやすいので使用の際には気をつけよう
リファインカッタ
ノコ盤と違い，綺麗に切断したい際に使用
砥石カッタが割れると掃除が大変面倒
研磨装置
治具や装置の面精度を向上するのに使用
計測機器
微分干渉顕微鏡
光学式顕微鏡
加工面，工具磨耗の観察など様々な場面で活躍
非接触表面形状測定機（Zygo）
光学式顕微鏡
走査型白色干渉法(SWLI)と周波数領域解析(FDA)の組み合わせにより、
垂直分解能0.1nmを持つ
超精密加工での評価には不可欠
接触式微細形状測定機
表面粗さ，形状測定に使用
触針プローブには要注意
電子顕微鏡（SEM&EDX）
表面性状の観察に使用
X,Y軸,B,C軸駆動のテーブルを搭載しているので自由度の高い観察が可能
元素分析装置を搭載
硬度計
島津製
金属表面の硬度を測るのに使用
高速度カメラ
カシオ製のハイスピードカメラ
金属表面の硬度を測るのに使用
動画も撮影可能
デジタルオシロスコープ
データ測定の必需品
高速サンプリングタイプから高分解能タイプまで各種あり
サーモグラフィカメラ
加工中の温度測定に使用
最大で2000℃まで測定可能
レーザードップラー振動計
高周波振動の測定に使う
楕円振動子，進行波軸受の開発などに使用
最大2MHzの振動まで測定可能
マルチファンクションジェネレータ
色々な波形を出力できる
振動工具，振動装置などの装置開発に使用
その他
CCDカメラ,動力計各種,加速度計,レーザー変位計,静電容量型変位計など
たくさんあります．
その他
CMP装置
CMP班が使用
この装置を用いてCMPの現象理解に挑む
除振台
浮上軸受，Walking Drive装置，楕円振動工具の試験，
表面張力軸受等に使用
研究室で3つ所持しています．
楕円振動切削装置
社本先生が発明した不可能を可能にする切削工具
従来は超精密・微細切削が不可能といわれていた金型鋼を，
単結晶ダイヤモンドバイトを用いて超精密・微細切削することができる
もちろん学生でも扱うことができます
