Facilities

DCスパッタリング装置
DC sputtering apparatus
光学顕微鏡
Optical microscope
原子間力顕微鏡
Atomic force microscope
フェムト秒レーザ
Femtosecond laser
化学気相蒸着装置
Chemical vapor deposition apparatus
クリーンルーム
Clean room
走査型電子顕微鏡
Scaning electron microscope
RFスパッタリング装置
RF sputtering apparatus